Wallstein Holding GmbH & Co. KG

NOx-Wäscher

Als Nitrose Gase bezeichnet man Stickoxidverbindungen, deren bekannteste Vertreter NO und NO2 sind. Aber auch die Dimere N2O3 und N2O4 treten in signifikanter Größenordnung auf und müssen bei der Auslegung des Wäschers mit berücksichtigt werden.

Wallstein-Ingenieure verfügen über langjährige Erfahrung bei der Auslegung von Nasswäschern zur Behandlung von nitrosen Gasen.

Sind die NOx-Konzentrationen sehr hoch, so kommen physikalische Vorwaschsysteme zum Einsatz, um Salpetersäure zurückzugewinnen und die Abwassermengen zu reduzieren.

Die anschließende Abscheidung der nitrosen Gase bis unter die geforderten Grenzwerte erfolgt dann vorzugsweise in Gegenstrom-Füllkörperkolonnen. Der Waschflüssigkeit wird dabei Lauge und Wasserstoffperoxid zugesetzt.

Anwendungsbeispiele

1) Halbeiter-/ Solarindustrie
In  der Halbleiter- und Solarindustrie werden Siliziumwafer in Ätzanlagen mit Gemischen aus Salpeter- und Flußsäure geätzt. Bei diesem Prozess entstehen nitrose Gase, die mit unseren erprobten NOx-Wäschern gereinigt werden.
Das Gas wird zunächst in einer Vorwaschstufe von Fluorwasserstoff befreit. Anschließend erfolgt die Abscheidung in ein- oder mehrstufigen NOx-Waschkolonnen unter kontrollierter Zugabe von Lauge und Oxidationsmittel.

Zweistufiger NOx-Füllkörperwäscher mit Vorwäscher (auf dem Bild nicht sichtbar)
NOx-Wäscher für Solarindustrie

 

2) Edelmetall-Recycling
Bei der Scheidung von Edelmetallen werden starke Säuren wie Salpetersäure und Königswasser eingesetzt, um die Edelmetalle aufzulösen. Hierbei entstehen zum Teil extrem hohe NOx-Emissionen. In diesem Fall wird in einer ersten Absorptionsstufe (kombinierter Strahlwäscher/ Füllkörperwäscher) ein großer Teil des NO2 in Wasser gelöst und so eine verdünnte Salpetersäure hergestellt, die wieder verwendet wird.

Nachfolgend erfolgt im Füllkörperwäscher mittels Lauge und Oxidationsmittelzufuhr die NOx-Abscheidung bis auf unterhalb der geforderten Grenzwerte.

Nachstehendes Bild zeigt einen NOx-Wäscher, in dem das Abgas in vier Zügen (zweimal im Gleich- und zweimal im Gegenstrom zur Waschmittelaufgabe) durch den Wäscher strömt. Der Wäscher wurde am Aufstellungsort aus vorgefertigten Einzelteilen montiert und verschweißt, um den vorhandenen Raum weitestgehend ausnutzen zu können. Die Bildansicht zeigt die Pumpendruckleitung des Wäschers mit Schmutzfänger und Durchflussmessung sowie das Sammelrohr oben zur Verteilung der Waschflüssigkeit am Wäscherkopf.

Wallstein lieferte das gesamte Abluftreinigungssystem bestehend aus Wäschern, Rohrleitungen, Instrumenten und Schaltanlage.

NOx-Wäscher in einer Edelmetall-Scheideanstalt
NOx-Wäscher in einer Edelmetall-Scheideanstalt