Wallstein Holding GmbH & Co. KG

Epitaxie-Gaswäscher

Diese Wäscher werden direkt am Ort der Entstehung von Emissionen eingesetzt und mindern dort effektiv den Schadstoffausstoß von Prozessanlagen.
Wallstein hat insbesondere für den Bereich Epitaxie einen Prozessgaswäscher entwickelt, der den hochkonzentrierten Prozessabgasstrom behandelt und bis auf die geforderten Grenzwerte abscheidet. Ein solcher Wäscher eignet sich hervorragend zur Abscheidung von Chlorsilanverbindungen, die während des Epitaxie-Prozesses in höchsten Konzentrationen entstehen. 

Epitaxie-Gaswäscher: 3D-Ansicht
Epitaxie-Gaswäscher: 3D-Ansicht
Epitaxie-Gaswäscher: Verfahrensfließbild
Epitaxie-Gaswäscher: Verfahrensfließbild

 

Ein Epitaxie-Gaswäscher in vierstufiger Ausführung behandelt das Prozessgas optimal. Im Eintrittsbereich der ersten Stufe erfolgt bei Kontakt des Gases mit der Waschflüssigkeit eine augenblickliche Hydrolyse mit der Bildung stark anhaftender Reaktionsprodukte (Zwischenprodukte, die langsam zum SiO2 weiter reagieren). Diese werden durch den Wandfilm der ersten Waschstufe abgewaschen. Ablagerungen im Gaseintrittsrohr am Kopf der ersten Waschstufe werden durch eine Reinigungseinrichtung mechanisch entfernt. Spüldüsen verhindern das Aufschäumen in der Waschlösung.

In Stufe 2 und 4 sorgen Füllkörperschüttungen für die Einhaltung der Emissionsgrenzwerte (Chlorsilane, HCl).

Stufe 3 ist als Strahlstufe ausgeführt und kompensiert die wäscherseitigen Druckverluste.

Wallstein Epitaxie-Abgaswäscher zeichnen sich durch eine hohe Sicherheit bei gleichzeitig langen Prozesslaufzeiten aus. Die ATEX Direktive 94/9/EC wird erfüllt.